真空泵是一個量大麵廣的產品，產量（liàng）很大，產值（zhí）不高，但它確實是一個直接影響到真空成套設備性能質量的必不可少的（de）基礎產品。真空泵從高/超真空到（dào）粗/低真空，其產品大致可分14大類： 

高/超真空——低溫泵、分子泵（bèng）、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵。 

中真空——幹泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。 

粗/低（dī）真空——單級旋片泵、滑閥泵（bèng）、液環泵、往複（fù）式真空泵。 

真（zhēn）空泵的市場根據用戶的需要而（ér）發生動態變化。市場增長的主要驅動力來自於半導體工業的迅速發展以及幹泵和分子泵應用（yòng）領域的日益擴大。 

目（mù）前，全球真空泵市場的年銷售（shòu）額約20億美（měi）元，年增長率在7%左右。 

我國生產真空泵的廠家很多，全部真空泵的年銷售額（é）大約在1.5億元左右，僅相當於美國Kinney公司一（yī）家真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵（bèng）市場（chǎng）的分析我（wǒ）們（men）可以看出，各類真空泵的市（shì）場及應用領域都在不斷變化和發展。我國真空泵製造業有著（zhe）悠（yōu）久的曆史和雄厚的基礎，國產（chǎn）真泵已經在各（gè）個（gè）不同領域得到應用並經過驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認可並受到好評，應該（gāi）說我國真空（kōng）泵製造業在國內外市場仍然有（yǒu）著巨（jù）大的發展（zhǎn）空間。 

　　1.液環泵 

　　雖然液環泵屬於粗真（zhēn）空泵（bèng），但（dàn）在（zài）我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥（yào）等領域仍然有著很大（dà）的市場。在國外，液環泵的銷售額占全（quán）部真（zhēn）空泵市場的14%，僅次於幹泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我國投（tóu）資（zī）建廠或建立銷售網絡（luò），不斷擴大在我國的市場份（fèn）額。由於液環泵大部分（fèn）是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型產品，所（suǒ）以國（guó）產液環泵在價格上有競爭（zhēng）優（yōu）勢，關鍵是要改進設計（jì），縮小體積，減輕重量（liàng），提高（gāo）效（xiào）率，降低（dī）能耗（hào）。 

　　2.滑閥泵 

　　由於滑閥泵比較耐用、可靠，國內外各種真空爐、鍍膜機以及幹燥、浸漬等設備都是用滑閥（fá）泵作為前級泵，但是滑（huá）閥泵鑄件重，加工工（gōng）作量較大，所以國外各真空廠都在（zài）中國尋找合作夥伴。為了使國產滑閥泵能夠進入（rù）國際市場，必須進一步降低泵的（de）振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提高（gāo）滑閥（fá）泵長期運行（háng）的（de）可靠性。 

　　3.直聯旋片泵 

　　隨著真空技術在各個應用領域的（de）不斷擴大，直聯旋片泵的需求（qiú）量越來越大。由於這種泵數量很（hěn）多，加（jiā）工（gōng）裝配工作量很大，價格又很低，所以有的國外真空廠商在中（zhōng）國建立專業廠。國（guó）產中小型（xíng）直聯旋片泵在技術上已經過關，價格又遠比國外的泵便宜（yí），所以國（guó）產泵仍然有競爭優勢，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性（xìng）能質（zhì）量問題，確保直聯泵在高速、高溫下性能穩定和運行（háng）可靠，同時還要進一步提高國（guó）產直聯旋片泵抽除水（shuǐ）蒸氣的（de）能力。 

　　4.羅（luó）茨泵（bèng） 

　　從國（guó）外羅茨泵生（shēng）產情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨（cí）泵的銷售額占全球羅茨泵銷售（shòu）額的比（bǐ）例都沒超（chāo）過5%，這（zhè）5家總（zǒng）計才20%，羅（luó）茨泵產量不大，但國外羅茨泵的價格（gé）遠比國產泵要高得多。目前，國內外（wài）幾乎所有大（dà）型或小型的高真空和中真空係統（tǒng），為了（le）縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵，所以國產（chǎn）羅茨泵一定要（yào）在占領國（guó）內市場基礎上設（shè）法進入國際（jì）市場，這（zhè）樣就必須進（jìn）一步降低國產羅（luó）茨泵的振（zhèn）動（dòng）噪聲，徹底解決軸封（fēng）漏油問題，改進泵的外觀質量，提高泵內的光潔度和清潔（jié）度。另外，還（hái）要考（kǎo）慮到有些國家和地區的（de）電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行（háng）的可靠性。 

　　目前，國內氣冷式直排大氣羅茨（cí）泵進展很快，技術（shù）上已經（jīng）成熟。由於這種泵在排氣口的下麵裝（zhuāng）有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣（qì）體通過（guò）管道返回泵腔以冷卻轉子，從而（ér）使壓縮熱得平衡，所以這種泵可以直排（pái）大氣（qì）。為了滿足不同極限真（zhēn）空度的要求，這種泵可以串聯（lián）使用（yòng），一般前麵加一台氣冷式直（zhí）排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比（bǐ）前級泵高一個數量（liàng）級。這種泵由於在泵腔內沒有工作（zuò）介質，實際上也是屬於幹泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機（jī）組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機（jī）轉子動平衡、航空（kōng）航天空間模擬等裝置上得到了長（zhǎng）期運行的考驗（yàn），所以應該在國（guó）內大力推廣和應用。 

　　5.分子泵 

　　分子泵在（zài）國外半（bàn）導體領域裏的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩 複合分子（zǐ）泵和牽引泵作為主泵。 

　　由於分子（zǐ）泵對水蒸氣的抽（chōu）速（sù）僅為同口徑（jìng）低溫泵抽速的四分之（zhī）一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了（le）提高抽速，國外在分（fèn）子泵的入（rù）口側裝一個（gè）-130℃~-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分（fèn）子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體（tǐ）則由分子泵抽走。這種低溫分（fèn）子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產（chǎn）效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業、薄膜產業和科學研究（jiū）事業迅速發（fā）展，分子泵（bèng）應該是我國真空泵製造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整（zhěng）係（xì）列，並（bìng）研究開發各種複合分子（zǐ）泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。 

　　6.幹泵 

　　國外幹泵市場的不斷增長，其主要驅動來自於半（bàn）導體行業、化學工業、薄膜產（chǎn）業的迅速（sù）發展。在日本，半導體行業已（yǐ）全部用幹式真空泵代替油封式機械泵，歐美半（bàn）導體行業45%以上用幹式真空泵代替了油封式機（jī）械泵，大大提（tí）高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況（kuàng）的要求，國外有多級羅（luó）茨真空泵、多級爪式真（zhēn）空泵、螺杆式真空泵、渦旋式真（zhēn）空泵、往複（fù）式活塞真空泵以及（jí）渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據統計，目前國產幹泵的應用還不足1%，國內半（bàn）導體工業（yè）用的幹泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應大力研究開發幹泵，使幹泵成為我國真空工業新的經濟（jì）增長點。

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