各種真空泵的工作原理（lǐ）

  CG-17玻璃（lí）三級高真空油擴散泵

  GG-17玻璃膨脹係數低，能更好地耐受很高的（de）溫度差變，故該泵比同型泵能受得（dé）起高溫而且（qiě）使用（yòng）壽命也更長。該泵（bèng）適用於電子工業，如電子管。顯（xiǎn）像管。X光管，以及半導體（tǐ）單晶矽的冶（yě）煉提純，高沸點的油脂（zhī）蒸餾提純分離，日光燈，保溫瓶高真空排氣的儀器。

  工作原（yuán）理

  先由轉動真空泵把（bǎ）係（xì）統（tǒng）抽（chōu）到10-2Pa擴散泵油被加熱沸騰（téng）,以高速從噴出的油蒸汽流不斷將係統內氣體分子（zǐ）帶到泵的側（cè）臂彎管球泡處集結,待氣體密度達到機械真空泵的工作範圍而被抽出,從而逐漸獲得高真空。

  水環式真空泵/液（yè）環真空泵工作原理

  水環真空泵(簡稱水（shuǐ）環泵)是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯大氣噴射器可達（dá）270~670Pa。水環泵也可用作壓縮機，稱（chēng）為水環式壓縮機，是屬於低壓的壓縮機，其壓力範圍為（wéi）1~2×105Pa表壓（yā）力。

  水環（huán）泵最初用作自吸水泵，而後逐漸用於石油、化工、機械、礦（kuàng）山、輕工、醫藥及食品等許多工業部門。在工業（yè）生產的許多工藝過程中，如真空過（guò）濾（lǜ）、真空引水（shuǐ）、真（zhēn）空送料、真空蒸發、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環泵得到廣泛的應用。由於真空應用技（jì）術的飛躍發展（zhǎn），水環泵在粗（cū）真空獲得（dé）方麵一直被人們所（suǒ）重視。由於水環泵中氣體壓縮是等溫（wēn）的，故可抽除易燃、易爆（bào）的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環泵應用日益增多。

  在泵體中（zhōng）裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中（zhōng）順時針方向旋轉（zhuǎn）時，水被（bèi）葉輪拋向四周，由於離心力的（de）作用，水形成了（le）一個決定於泵腔形狀的近似於等厚度的封閉圓環。水環的下部分內表麵恰好與葉輪輪轂相切（qiē），水環的上部（bù）內表麵剛（gāng）好與葉片（piàn）頂端接觸(實際上葉片在水環內有一定的（de）插（chā）入深度)。此時葉輪輪轂與水環之間形成一個月牙形空間，而這一空間又（yòu）被葉輪分成和葉片數目相等的若幹個小腔。如果以葉輪的（de）下部0°為起點，那麽葉輪在旋轉前（qián）180°時小腔的容積由小變大，且與端麵上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸（xī）氣終了時小腔則與吸（xī）氣口隔絕;當葉輪繼續旋轉時，小腔由大變小（xiǎo），使氣體被壓縮;當小腔與排氣口相通時，氣（qì）體便被排出泵外。

  綜上所述，水環泵是靠泵腔容積的變化（huà）來實現吸氣、壓縮和排氣（qì）的，因此它屬於變（biàn）容式（shì）真空泵。

  羅茨泵的工作原理：

  羅茨泵在泵腔內，有二個“8”字（zì）形的轉子相互垂直地安裝（zhuāng）在（zài）一對平行軸上，由傳動比為（wéi）1的一對（duì）齒輪（lún）帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間，轉（zhuǎn）子與泵（bèng）殼內壁之間，保（bǎo）持有一（yī）定的間隙，可以實現高（gāo）轉速運行。由於羅茨泵是一種無內壓縮（suō）的真空泵，通常壓縮比很（hěn）低（dī），故高、中真空泵需要前級（jí）泵。羅茨泵的極限真空除取決（jué）於泵本（běn）身結構和製造精度外，還取決於前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將（jiāng）羅茨泵串聯使（shǐ）用。

  羅茨泵（bèng）的工作原理與羅茨鼓風機相（xiàng）似。由（yóu）於轉子的不（bú）斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸（xī）入（rù）到轉子與（yǔ）泵殼之間的空間（jiān）v0內，再經排氣口排出。由於吸氣後v0空間是全封閉狀（zhuàng）態，所以，在泵（bèng）腔（qiāng）內氣體沒有壓（yā）縮和（hé）膨脹。

各種真空泵（bèng）的工作原理

  但（dàn）當轉子頂部轉過排氣口（kǒu）邊緣（yuán），v0空間與排（pái）氣側相（xiàng）通時，由於排氣側氣（qì）體壓強較高，則有一部（bù）分氣體返衝到空間v0中去（qù），使氣體壓強突然增（zēng）高。當轉子（zǐ）繼續轉動時，氣體排（pái）出泵外。

  旋片式真（zhēn）空泵工作（zuò）原理：

  旋片式真空泵(簡（jiǎn）稱旋片泵)是一（yī）種油（yóu）封式機械真空泵。其工作壓強範圍為101325~1.33×10-2(Pa)屬於低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其（qí）它高真空泵（bèng）或超高真空泵的（de）前級泵（bèng）。它（tā）已廣泛（fàn）地應用於冶金、機（jī）械、軍工、電子、化（huà）工、輕工、石油及醫藥（yào）等生產和科研部（bù）門。

  旋片泵可以抽除密封容器中的幹燥氣體，若附有氣鎮裝置，還（hái）可以抽除一定量的可凝性氣（qì）體。但它不適於（yú）抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的（de）、對泵油會起化學反（fǎn）應以（yǐ）及含有顆粒塵埃的氣體。

  旋片泵是真空技術中最基本的真空獲得設備之一（yī）。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙級兩（liǎng）種。所謂雙級（jí），就是（shì）在結構上將兩個單級泵串聯起來（lái）。一般多做成雙級的，以獲得較高（gāo）的真空（kōng）度。

  旋（xuán）片泵的抽速與入口壓強的關係（xì）規定如下：在入口（kǒu）壓強為（wéi）1333Pa、1.33Pa和（hé）1.33×10-1(Pa)下，其抽（chōu）速值分別不得低於泵（bèng）的名義抽速的95%、50%和20%。

  旋片泵主要由泵體（tǐ）、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片（piàn）泵的腔內偏心地安裝一個轉子，轉子外圓與泵（bèng）腔內（nèi）表（biǎo）麵相切（qiē）(二者有很小的間隙)，轉子槽內裝有帶彈簧的二個（gè）旋片。旋轉時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內（nèi）壁（bì）保持接觸，轉子旋轉帶動旋片沿泵腔（qiāng）內（nèi）壁（bì）滑動（dòng）。

  兩個旋（xuán）片把轉子、泵腔和兩個端蓋（gài）所圍成的月（yuè）牙形（xíng）空間分隔成（chéng）A、B、C三部分，當轉子按箭頭方向旋轉時，與吸（xī）氣口相通的空間A 的容積是逐漸（jiàn）增大的，正處於吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處於排氣過程（chéng）。居（jū）中的（de）空間B的容（róng）積也是逐漸減小的，正處於壓縮過程。由於空間A的容積是逐漸增大(即膨（péng）脹)，氣（qì）體壓強降低，泵（bèng）的入口處外部氣體壓強大於空間A內的壓（yā）強，因此將氣體吸入。當空間（jiān）A與吸（xī）氣口隔絕（jué）時，即轉至空間B的位置（zhì），氣體開始被壓縮（suō），容積逐漸縮小，最後與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推（tuī）開，氣體穿過油箱內的油層排至大氣（qì）中。由泵（bèng）的連續運轉，達到連續抽（chōu）氣的目（mù）的。如果排出的氣（qì）體（tǐ）通過氣道而轉入另一級(低真空級)，由低真空級（jí）抽走，再經低真空級壓縮後排至大氣中，即（jí）組成了（le）雙級泵。這時總的壓縮比（bǐ）由兩（liǎng）級來負擔，因而提高了極（jí）限真空（kōng）度。